索尼(Sony)宣布将发布两款用于工业设备的新型短波红外(SWIR)图像传感器:IMX990和IMX991。该新型传感器能捕获在可见光和不可见光光谱中的图像,采用业界最小的5μm像素,尺寸紧凑。
新产品采用了索尼独创的SenSWIR技术,在铟镓砷(InGaAs)化合层上形成光电二极管,并通过铜-铜(Cu-Cu)连接硅(Si)层的读出电路。
SWIR图像传感器能够感应到人眼看不见的波长,支持不同应用领域的相机和测试设备开发,有助于工业设备的多样化发展。
SWIR图像传感器:IMX990
左图左侧:陶瓷LGA封装;左图右侧:内置热电装置的陶瓷PGA封装。右图:索尼SenSWIR技术Logo
使用传统的凸块(bump)连接,将接收光源的光电二极管InGaAs层与输出电路的Si层进行键合时,必须确保一定的凸块间距,要实现比现有CMOS图像传感器更小的像素尺寸几乎不可能,因此实现传感器微型化困难重重。然而,采用Cu-Cu连接,使得索尼新产品拥有更小的像素间距,即业界最小的5μm像素。从而在保持SXGA(IMX990)、VGA(IMX991)分辨率的同时减小相机尺寸变成可能,且有助于提高测试精度。
左图:凸块连接;右图:Cu-Cu连接
索尼独创的SWIR图像传感器技术让顶层磷化铟(InP)层能吸收四倍的可见光,厚度更薄,因此可以将光传输到InGaAs层之下,即使在可见光范围内量子效率也非常高。这种设计可以在0.4μm~1.7μm较宽的波长范围内成像,从而实现单个摄像头代替传统的多摄像头,同时完成可见光和短波红外光的捕获。
SWIR图像传感器技术的波长(X轴)和量子效率(Y轴)关系示意图
成像样品1
切换光源可以同时获取苹果的表面信息和果肉信息
(左图:可见光图像;右图:SWIR图像)
成像样品2
利用短波长红外光吸收率的差异进行材料分类
(左图:可见光图像;右图:SWIR图像)
传统SWIR图像传感器通常具有模拟信号输出功能,但新产品支持数字输出,可提供与当前工业CMOS图像传感器相同的性能。虽然模拟输出传感器需要相机的数字转换电路或其他功能,但是新产品自带此功能,从而减少了相机开发的步骤,并使多功能相机的开发更加容易。
预计2020年6月样品发货
价格:80万日元(不含税)
“IMX991”
1/4型(对角线4.1mm)约34万有效像素SWIR图像传感器
内置热电冷却元件的陶瓷PGA封装
预计2020年7月样品发货
价格:50万日元(不含税)
陶瓷LGA封装
预计2020年6月样品发货
价格:40万日元(不含税)
本产品采用化合物半导体InGaAs(砷化铟镓)层构成光电二极管,通过与构成读出电路的Si(硅)层进行Cu-Cu(铜-铜)连接,实现了宽带高性能其特点是采用了独特的SWIR图像传感器技术“SenSWIR”,实现了高灵敏度。
结果是一种小型 SWIR 图像传感器,能够捕获从可见光到短波长红外(波长:0.4 μm 至 1.7 μm)(即非可见光)的广泛波长的图像。
该公司声称,以前需要两台相机(一台用于可见光,一台用于短波红外)的检查过程可以用一台相机完成,从而节省系统并降低成本。
两种SWIR(短波长红外)图像传感器的商业化,具有业界最小*1 5μm像素,可以捕获工业设备从可见光到不可见光波段的图像
通过紧凑、宽带成像,为工业设备的多样化发展做出贡献
索尼公司
索尼半导体解决方案公司
*1: 在 SWIR 图像传感器中使用 InGaAs(砷化铟镓)。根据索尼的研究。(截至2020年5月12日公关公告时)
索尼开发了用于工业设备的SWIR图像,该图像采用业界最小的*1 5μm像素,实现了从可见光到非可见光短波红外(SWIR)的成像。我们将商业化两种类型的传感器。
本产品具有由化合物半导体InGaAs(砷化铟镓)层制成的光电二极管,以及与形成读出电路的Si(硅)层的Cu-Cu(铜-铜)连接*2,以实现宽带・使用专有的SWIR实现高灵敏度的图像传感器技术“SensSWIR” *3 。因此,我们创造了一种小型 SWIR 图像传感器,可以无缝捕获从可见光到短波长红外光(即非可见光)的宽带(波长:0.4 μm 至 1.7 μm)图像。
通过采用该产品,利用人眼无法感知的波长的光,可以开发出可用于各种用途的相机和检查设备,为工业设备的多样化发展做出贡献。
*2: 一种在堆叠像素芯片(顶部)和逻辑芯片(底部)时通过连接 Cu(铜)焊盘来创建电连续性的技术。与利用像素区域外围的通孔电极连接上下芯片的TSV(硅通孔)相比,它具有更大的设计自由度、提高的生产率、更小的尺寸和更高的性能。
*3: 形成光接收部分的光电二极管的InGaAs(砷化铟镓)层和形成读出电路的Si(硅)层通过Cu-Cu连接,并且表面上的InP(磷化铟)层变薄。可以传输可见光。
1/2型(对角线8.2mm)134万有效像素SWIR图像传感器“IMX990”
陶瓷 PGA 封装,内置热电冷却元件 样品上市时间:2020年7月 90万日元
陶瓷LGA封装 样品上市时间2020年6月 80万日元
1/4型(对角线4.1mm)约34万有效像素SWIR图像传感器“IMX991”
陶瓷 PGA 封装,内置热电冷却元件 样品上市时间2020年7月 50万日元
陶瓷LGA封装 样品上市时间2020年6月 40万日元
近年来,为了解决工业设备行业面临的问题,例如节省劳动力和防止数据外流,对能够捕获短波长红外波段(即不可见光)图像的图像传感器的需求不断增加。有缺陷的产品。然而,传统的SWIR图像传感器由于制造工艺问题,难以小型化或增加像素数,以及可见光波段和模拟输出的灵敏度较低,难以增加功能,这些因素都阻碍了其发展。相机的普及及其用途的扩展。
该产品利用索尼迄今为止培育的Cu-Cu连接堆叠技术,以及其专有的SWIR图像传感器技术,通过小型化、更小的传感器尺寸和可见光波段实现更高的图像质量成为可能。宽波段高灵敏度,可对可见光和非可见光波段进行成像。此外,通过支持数字输出,我们已经实现了与工业设备当前 CMOS 图像传感器相当的功能。
今后,我们将在材料分选、异物检查、半导体检查等各种产业用途中广泛推广该产品,为提高生产效率做出贡献。
主要特点
以业界最小的5μm像素实现像素的大量化和小型化
当将形成光接收部分中的光电二极管的InGaAs(砷化铟镓)层和形成读出电路的Si(硅)层接合时,传统的凸块连接确保了凸块间距,因此当前的工业设备与CMOS图像传感器相比市场上,像素无法做得更小,难以小型化。该产品采用Cu-Cu连接来减小像素间距,实现了业界最小的5μm像素尺寸。这使得可以在保持SXGA(IMX990)/VGA(IMX991)分辨率的同时缩小相机尺寸,从而有助于提高检查精度。
宽带成像可达可见光
利用专有的SWIR图像传感器技术,将吸收可见光的表面InP(磷化铟)层*4做得更薄,使光线能够穿过底层的InGaAs(砷化铟镓)层,即使在可见带。这使得捕获 0.4 μm 至 1.7 μm 的宽范围波长的图像成为可能,从而可以使用单个相机而不是单独的相机来进行可见光和 SWIR。从而可以降低系统成本、减轻图像处理负荷、提高速度,从而极大地扩大检测范围。
※四: 用作 InGaAs(砷化铟镓)层基础的基板。
通过数字输出实现高性能
传统的 SWIR 图像传感器通常具有模拟输出,而该产品支持数字输出,实现与工业设备中当前 CMOS 图像传感器相同的功能。使用模拟输出传感器时,需要在相机侧单独实现工业设备的数字转换电路和功能,但本产品配备了这些,减少了相机开发所需的工时并实现了多功能性.相机开发变得更加容易。
主要规格
型号名称: IMX990 / IMX991
有效像素数:1296(水平)x 1032(垂直)约134万像素 / 656(水平)x 520(垂直)约 340,000 像素
图片大小: 对角线8.2mm(1/2型) / 对角线4.1mm(1/4型)
晶胞尺寸: 5μm(水平)×5μm(垂直) / 5μm(水平)×5μm(垂直)
帧率:
所有像素 8位:130fps / 8 位: 250 帧 /秒
10位:120fps / 10 位:240 帧/秒
12位:70fps / 12 位:130 帧/秒
电源电压:
像素 2.2V、1.2V / 2.2V、1.2V
模拟 3.3V、2.2V / 3.3V、2.2V
数字的 1.2V / 1.2V
界面 1.8V / 1.8V
主要特点:
全局快门 / 全局快门
数字温度计 / 数字温度计
ROI / ROI
输出: SLVS(2/4通道切换) / SLVS(2/4通道切换)
封装:
陶瓷 PGA,内置热电冷却元件 / 陶瓷 PGA,内置热电冷却元件
30.0mm (H) x 30.0mm (V) / 30.0mm (H) x 30.0mm (V)
陶瓷 LGA / 陶瓷 LGA
20.0mm (H) x 16.8mm (V) / 20.0mm (H) x 16.8mm (V)